随着人们生活质量的提高,对电子产品的质量要求也越来越严格。 电子厂无尘车间要满足的一个重要条件是保持恒温恒湿。 恒定的湿度可以减少洁净室和洁净室表面静电电荷的积累。 当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但当相对湿度低于30%时,它们可以在绝缘体或未接地表面上长期存在。
对于发电厂洁净室,35% 至 40% 之间的相对湿度可以是令人满意的折中方案。 其中,半导体无尘车间和洁净室一般采用额外的控制装置来限制静电荷的积累。 大多数化学反应(包括腐蚀过程)的速度随着相对湿度的增加而增加。 电子厂洁净室和洁净室周围所有暴露在空气中的表面都会很快被至少一层单分子水覆盖。 当这些表面由可与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度会加速反应。
恒温恒湿空调机组一般将制冷系统的蒸发器(翅片管式)安装在被处理空气的通道内,利用制冷剂的直接蒸发来冷却空气。 当空气流过蒸发器的外表面时,空气被冷却并且水分含量减少。 为了保证被调节房间所需的相对湿度,空调内设有加湿器。 加湿器是一个装满水的小容器,内部有电极加热器,使水被加热汽化成水蒸气,以增加处理后空气的含水量。 另外,空调中还安装有电加热器,可以对空气进行干热,以改变空气的温度,或者在冬季提供热量。 恒温恒湿空调机组的适用范围是:温度为20-25±1℃,相对湿度为(50-70)±10%,其制冷量各不相同,一般在7-116kW左右,风量为1000-17000m3/h,均为自动控制。